【资料图】
1、 三极型离子镀，亦称“热电子增强型离子镀”。
2、在蒸发源与基体间添加一热电子发射极和收集电子的正极，使热发射的电子横越时，与蒸发的粒子流发生碰撞产生电离，以此来提高离化率的离子镀。
3、。
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1、 三极型离子镀，亦称“热电子增强型离子镀”。
2、在蒸发源与基体间添加一热电子发射极和收集电子的正极，使热发射的电子横越时，与蒸发的粒子流发生碰撞产生电离，以此来提高离化率的离子镀。
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